半导体材料检测种类

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新型测试分析方法如结电容技术,激光光谱技术,俄歇电子能谱、二次离子质谱和电子显微分析技术等的建立与不断完善,为深入研究杂质和缺陷在半导体材料中的行为、杂质与缺陷相互作用、表面、界面质量、混晶组份以及结梅缺陷等提供了有力手段,促进了半导体材料及物理学的发展。

自然界的物质、材料按导电能力大小可分为导体、半导体和绝缘体三大类。

半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。

主要应用于集成电路、家电、通信系统、太阳能发电、照明、大功率电源转换等领域,例如二极管是用半导体制作的器件。

一般情况下,为了安全性和使用效果好,都是要进行检测的。

常见半导体材料检测种类

湿电子化学品检测种类

(1)酸碱类:高纯盐酸、高纯硫酸、高纯硝酸、高纯氢氟酸、高纯冰Z酸、高纯草酸、电子级复水、电子级过氧化氢、氢氧化钾溶液、氢氧化钠溶液、电子级磷酸;

(2)蚀刻类:铝腐蚀液、铬鹰蚀液、镍银腐蚀液、硅腐蚀液、金蚀刻液、铜蚀刻液、显影液、剥离液、清洗液、ITO蚀刻液、缓释剂、BOE;

(3)溶剂类:甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、四甲基氢氧化铵、甲苯、二甲苯、三氯乙烯、环已烷、N-甲基吡略烷酮、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯等。

光刻胶及配套试剂检测种类

光刻胶、负胶显影液、负胶漂洗液、负胶显影漂洗液、正胶显影液正胶稀释剂、边胶清洗剂、负胶剥离液、正胶剥离液等。

电池材料检测种类

(1)负极材料:碳材料、非碳负极材料、石里负极材料、锂电池负极材料、硅负极材料、锂离子负极材料、硅碳负极材料、碳素负极材料、沥青负极材料等;

(2)正极材料:钻酸锂、锰酸锂、磷酸铁锂、三元材料、镍,钻,锰酸锂、镍锰酸锂、正极材料镍钻锰酸锂等;

(3)电解液:锂离子电池用电解液、锂原电池用电解液、六氟磷酸锂、六氟磷酸锂电解液等;

(4)电池/电解液添加剂:成膜添加剂、导电添加剂、阻燃添加剂、过充保护添加剂、改善低温性能的添加剂、多功能添加剂等;

(5)电池隔膜:锂电池隔膜、高性能电池隔膜、电池陶瓷隔膜等。

检测项目

电学性能、光学性能、限用物质等

电学性能主要检测电阻率、霍尔系数、磁阻等性能;

光学性能主要检测器光电导、光吸收等性能。

半导体材料的关键性能检测指标主要为禁带宽度、电阻率、载流子迁移率、非平衡载流子寿命、位错密度等。

检测方法

目前半导体材料检测分析的重点逐渐转向对半导体薄膜,特别是薄膜的表面、异质结界面性质研究和对薄膜材料的组甜和结构分析。

新型测试分析方法如结电容技术,激光光谱技术,俄歇电子能谱、二次离子质谱和电子显微分析技术等的建立与不断完善,为深入研究杂质和缺陷在半导体材料中的行为、杂质与缺陷相互作用、表面、界面质量、混晶组份以及结梅缺陷等提供了有力手段,促进了半导体材料及物理学的发展。

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责编:高蝶
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